Product
Products
윤스랩의 다양한 제품을 소개합니다.
-
PVA Brush - 일체형
- ·개방된 기공을 통해 Brush 의 pumping 메커니즘을 효율적으로 개선.
- ·수분 , Particle 포집 배출 활성화에 따라 웨이퍼 표면과
브러쉬 간의 마찰을 감소시켜 scratch 요인 억제
- ·고도의 정밀 세정을 요하는 Cu process 에 적합
Basic Dimensions
고객 주문에 탄력적으로 적용가능
| 장비사 |
웨이퍼 |
스펙(mm) |
Type |
Core 재질 |
| AMAT |
8인치 및 12인치 |
318*70*32 |
Core 일체형 |
pp |
| Lam Research |
8인치 및 12인치 |
318*60*32 |
Core 일체형 |
pp |
| AMAT |
8인치 및 12인치 |
318-38*32 |
Core 일체형 |
pp |
-
PVA Brush - 분리형
- ·동일한 품질의 PVA 스폰지를 코아 없이 제공합니다.
Basic Dimensions
고객 주문에 탄력적으로 적용가능
| 장비사 |
웨이퍼 |
스펙(mm) |
Type |
| AMAT |
8인치 및 12인치 |
318*70*32 |
스폰지 단독 |
| Lam Research |
8인치 및 12인치 |
318*60*32 |
스폰지 단독 |
| Ebara |
8인치 및 12인치 |
318-38*32 |
스폰지 단독 |
-
그외의 제품들
- ·다양한 형상의 PVA 소재 브러쉬가 패키징 및 기타 세정공정에서 사용되고 있습니다.
- ·고객사의 요청에 의해 특이 사항이 강조된 PVA 브러쉬의 제공이 가능합니다.
